新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

上一张
下一张
品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

价格:
请联系客服

货期:
请联系客服

型号:
真空机械手Titan1500C

产品简介
新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm，电源:208VAC(50Hz/60Hz)。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品，大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到12kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。

　　参数

　　结构形式：柱坐标型/SCARA型

　　驱动方式：伺服电机

　　手数量：单臂

　　负载

　　名称：托盘

　　直径:Φ716mm

　　重量:≤12kg

　　自由度数:3

　　手臂长度:355mm

　　手指长度（安装中心至硅片中心）:810mm

　　运动范围

　　R轴R-:≤1500mm

　　θ轴θ-:无限回转

　　Z轴Z-:150mm

　　全行程最小时间

　　R轴R-:＜27.8s（Home to Extend 1500mm）

　　θ轴θ-:＜15s(180°)

　　Z轴Z-:13s（150mm）

　　重复定位精度

　　R轴:±0.2mm

　　θ轴:±0.2mm

　　Z轴:±0.2mm

　　最小回转半径:762.5mm

　　下垂量:5mm

　　真空度:＜5×10-9 Torr

　　漏率:＜1×10-9 std.cc/sec He

　　电源:208VAC(50Hz/60Hz)

　　电源范围电压波动范围:单相交流208V +10%，-15%

　　通信接口:Ethernet

　　重量:195kg

　　行程:1500mm

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN 真空机械手Titan1500C 行程:1500mm产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

更多相关内容

	新松T120A-30工业机器人工作范围：3053mm 产品介绍　　新松T120A-30机器人，是应用最广泛和最灵活的高负载型工业机器人之一。机器人以符合人机工程学理论为着眼点，通过优化机器人的整体尺寸，减少回转时间，解决耗能，达到最优性能。 ...
	新松/SIASUN 工业机器人SRH10A-1000 控制轴数4 简介：高速传输效率，手指末端可用户定制，网络化控制器，体积轻小、安装便捷。　　特点　　工作范围出众，实现有效空间内的生产效率最大化　　刚性结构设计，紧凑型机身，适用于最高10kg ...
	新松/SIASUN TCR桌面式协作机器人臂展500mm 简介：CR桌面级协作机器人自重轻、负载小0 5——1kg、臂展范围300——500mm, 更适宜桌面级机器人工作任务。　　特点　　1多彩外观可定制，人性化网页版操作系统，尽享人机协作乐趣　　超 ...
	新松/SIASUN SCR3 协作机器人负载3kg 简介：新松协作机器人是国内首台7自由度协作机器人，具备快速配置、牵引示教、视觉引导、碰撞检测等功能，特别适用于布局紧凑、精准度高的柔性化生产线，满足精密装配、产品包装、打磨、检测、 ...
	新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载：＜500g 简介：直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等 ...
	新松/SIASUN G6 FPD Robot 有效负载：2kg 简介：伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片。负责完成GLASS PAN ...
	新松工业机器人T20A-18 工作范围：1803mm 产品介绍　　新松T20A-18机器人，是对原有20KG系列机器人进行一次升级换代的产品。改变了四五六轴结构形式，能够适应更多的应用场景和应用领域。优化外观造型，延续火弧系列中空弧焊机器人设 ...
	新松/SIASUN洁净机器人SR50/80A-J100 6轴 ±0.1mm 简介：全新SR50A 80A-J100系列机型采用高刚性轻量机械结构，引入安全设计理念，机身紧凑，节约高洁净度下的机器人应用成本。采用特殊的粉末涂层阻隔空气颗粒，无论是适用于洁净室、用于有多尘区 ...
	新松/SIASUN SRBL3A六轴并联机器人最大负重：3KG 简介：装配,组装,搬运,分拣 ,上下料,打磨,雕刻描述：SRBL3A六轴并联机器人具有灵活性强、精度高、刚性强等特点，具有6个自由度，具备手动拖拽示教功能，并支持视觉识别功能。满足大多数精密度高 ...
	新松/SIASUN SRBD1100Z(直驱电机)并联机器人轴数：3/4轴简介：满足大多数精密度高的复杂作业，广泛应用于装配、组装、搬运、上下料、分拣、打磨、雕刻等领域。　　特点　　运动精度高，重复定位精度±0.02mm 　　运动速度快，拾放节拍40次/min ...
	新松/SIASUN TTS-2000 EFEM洁净机器人温度：≤200℃ 简介：EFEM是一个晶圆前端传输设备，是一个与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制，充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人 ...
	新松/SIASUN 工业机器人 T12A-14 电源容量：1.5KVA 简介：新松T12A-14机器人，是新松创新成功的重要延续和全新升级。采用流线型外观设计，中空弓形手臂减少工件干涉，提高作业灵活性，确保最佳姿态，可进行无干扰高密度布局。机器人具有更卓越的 ...
	新松/SIASUN SRBD500并联机器人最大负重：3KG 简介：SRBD500是专为快速拾放应用场合而设计的高速机器人，其机体材质主要由碳纤维及铝合金组成。蛙跳试验节拍高达300次分钟。通过传感器或视觉系统捕捉目标物体，实现目标物体的动态跟踪拾取 ...
	新松/SIASUN机器人SRP16AL 负载16kg臂展2700mm 简介：全新SRP16AL系列机型采用高刚性轻量机械结构，引入安全设计理念，关键部件均采用密封构造，设计紧凑，坚固耐用，防护等级IP67，适应恶劣生产环境，在粉尘较大的室内外均可正常运行。 ...
	新松/SIASUN大气机械手Blade-DD250 重量：≤0.5kg 简介：大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂优化结构加强了手臂的刚性，并有效抑制振动，轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本，提升市场竞争力。材料、加 ...
	新松/SIASUN T12B-14 工业机器人额定载荷：12kg 产品介绍　　新松T12B-14机器人专为高要求的弧焊应用开发，采用流线型外观设计，中空弓形手臂减少工件干涉，提高作业灵活性，确保最佳姿态，可进行无干扰高密度布局。机器人具有更卓越的动力 ...
	新松工业机器人T165A-26 防护等级（腕部）：IP65 产品介绍　　新松T165A-26机器人，是应用最广泛和最灵活的高负载型工业机器人之一。机器人以符合人机工程学理论为着眼点，通过优化机器人的整体尺寸，减少回转时间，解决耗能，达到最优性能。 ...
	新松/SIASUN SR360AL工业机器人工作范围：3200mm 简介：SR360AL采用修长的延长臂设计，机械结构轻量紧凑、位置路径精确度准确，灵巧腕部及超强扭矩的完美融合，保证了动作的灵活性和工作的可靠性。是重型工业领域的优质之选。　　特点　　手 ...
	新松/SIASUN两轴码垛机器人SRB80A 臂展1300mm 简介：全新的SRB80A系类机型作为两轴码垛装箱机器人大大提升了机器人的运动速度，具有速度块，工作范围广等优点，使机器人工轻巧、快捷、强健。可以完成高速的码垛装箱作业。在装箱应用领域为客 ...
	新松/SIASUN SRBD1100并联机器人（不锈钢版）负重：8kg 简介：针对食品、医疗等行业专用设备的无菌、洁净、易清洗要求，开发的不锈钢材质机体的SRBD1100型并联机器人。其机体主要为不锈钢材料，具有不锈、无尘、免维护等优点。　　一、主要应用领域 ...