新松/SIASUN IC STOCKER洁净机器人速度：120°/sec

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

价格:
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货期:
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型号:
IC STOCKER

产品简介
新松/SIASUN IC STOCKER洁净机器人速度：120°/sec，有效负载：10kg。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：用于IC行业FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。

　　参数

　　设备：IC Stocker

　　运动轴：行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

　　有效负载：10kg

　　控制：PLC+PC

　　电源供应：VAC 220V±10%

　　电机：伺服电机

　　行走

　　驱动：齿轮齿条+减速机+电机

　　速度：2.2m/s

　　提升

　　驱动：电机减速机+同步带+带轮

　　速度：1.75m/s

　　旋转

　　驱动：电机+同步带+减速机

　　速度：120°/sec

　　叉取

　　驱动：电机减速机+同步带+带轮

　　上/下料时间：4.8s

　　叉取FOUP精度：±0.5mm

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN IC STOCKER洁净机器人速度：120°/sec产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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