新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载：＜500g

发布时间：2024-8-30 12:03:23|来源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

产地:
沈阳

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货期:
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型号:
PHOENIX-S25

产品简介
新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载：＜500g，适用晶圆尺寸：300mm/200mm/150mm/100mm。

质量保证

贴心服务

安全交易

产品介绍说明

简介：直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

　　参数

　　本体重量：50KG

　　适用晶圆尺寸：300mm/200mm/150mm/100mm

　　负载：＜500g

　　电源输入：AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ

　　电源范围电压波动范围：单相交流208V +10%，-15%

　　节拍：R axis＜3（Home to Extend703mm）θ axis＜2.5s(180°)(根据实际摩擦力) Z axis＜1.8s（90mm）

　　重复定位精度：Z: ±0.05mm（3σ）T: ±0.003°（3σ）R: ±0.05mm（3σ）

　　漏率：< 1 x 10-9 std. cc/sec He

　　真空度：5X10-9Torr

　　适用温度：法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

　　行程：R轴703mm Z轴90mm

　　洁净度：ISO CLASS1

　　MCBF：>11million cycles

　　复合运动：支持

　　PC远程操作软件：支持

　　通信接口：Ethernet/串口

　　IO互锁：支持

　　安全区：支持

　　碰撞保护：支持

　　我们将以诚实守信、方便快捷的经营方式和严格的管理，为客户提供优质的产品和满意的服务。

　　本文介绍了新松/SIASUN 真空机械手PHOENIX-S25 负载：＜500g产品，如果您对新松/SIASUN机器人感兴趣，也请联系我们的客服，我们期待着您的来电，希望我们的技术和服务能给您带来更好的体验。

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