造成传感器误差的因素——奥托尼克斯

发布时间:2024-8-30 12:03:23|来源: 奥托尼克斯/Autonics

第一是偏移量差错:由于高频压力传感器在整个压力范围内笔直偏移坚持稳定,因而变换器扩散和激光调节修正的改变将发生偏移量差错。

                              

  第二是灵敏度差错:发生差错大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度差错将是压力的递加函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度差错将是压力的递减函数。该差错的发生原因在于扩散过程的改变。

  第三是线性差错:这是一个对高频压力传感器初始差错影响较小的要素,该差错的发生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包含放大器的非线性。线性差错曲线可所以凹形曲线,也可所以凸形曲线称重传感器。

  最后是滞后差错:在大多数景象中,压力传感器的滞后差错完全可以忽略不计,由于硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力改变很大的景象中考虑滞后差错。

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